Ref: SMT-9700 - Haute résolution - OEM

Capteur à Courant de Foucault OEM haute résolution - 0.5 à 15mm - 1 à 3 voies

  • Capteur de déplacement à Courant de Foucault haute résolution
  • Configuration pour 1, 2 ou 3 voies
  • Etendue de mesure : 0-100µm à 0-15 mm
  • Résolution : < 1 nm
  • Nombre possibilité d'ajustement de la performance (étendue, sensibilité, bande passante)
  • CE and RoHS compliant
  • Design compact
  • Compatible en standard avec 13 sondes à Courant de Foucault
  • Signal de sortie : 0- 10 Vcc
  • Alimentation : 15 - 30 Vcc

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Présentation

Le capteur à Courant de Foucault SMT-9700 de Kaman mesure des positions / déplacement sans contact entre la tête de la sonde et toute cible métallique conductrice (acier, aluminium, cuivre) sur des étendues de mesure comprises entre 0-100 µm et 0-15mm, avec une résolution < 1 nm. La mesure se distingue par ailleurs par une réponse fréquentielle très élevée (50 kHz), et est insensible au milieu (humide, electro-magnétisme, cryogénie, huile de coupe, etc...). Autre atout : le SMT-9700 peut gérer jusqu'à 3 voies de mesure en simultané.

Le signal de sortie analogique (tension continue ou 4-20mA) est compatible avec toute entrée analogique d'un PC, automate ou système d'acquisition.

Configuration

Le sytème SMT-9700 consiste en une sonde avec câble intégré (13 modèles disponibles) et une électronique de conditionnement.

Sondes

  • *Température de fonctionnement : -196 à 200°C
      • Température de fonctionnement : -55 à +105°C

Calibration et customisation

La calibration du SMT-9700 est réalisée en usine, avec la sonde et la cible métallique de l'application, dans les conditions de mesure (température, tension d'alimentation, etc...). Il est possible en option de spécifier les performances à obtenir, ainsi que le nombre de points de fonctionnement:

  • résolution
  • linéarité
  • nombre de points de calibration
  • Sensibilité
  • bande passante / filtrage
  • compensation en température

Applications

  • Retour de position de la platine XYZ sur microscope atomique
  • Retour de position axe Z dans les équipements de photolithographie à semi-conducteurs
  • Positionnement optique
  • Asservissement en position d'une gravure au laser

Plus d'information sur le principe de la mesure par Courant de Foucault : ici

Technologie
Courant de Foucault
Etendue de mesure
0 à ±50 mm
Sortie analogique
0-5 VDC
Classe de Protection
IP40
Tension d'alimentation
24 Vcc
Matériau
Aluminium

Electronique

Capteurs

  • Calibration spéciale avec étendue de mesure non standard,
  • Compensation en température des capteurs.
  • Câble spéciaux ; connecteur sur le câble, traversée étanche.
  • Traitement des capteurs contre l’humidité.
  • Adatation à un géométrie de cible particuliere
  • Longueur de câble capteur
  • Micromètre de calibration
  • Cale d'épaisseur téflon
  • Alimentation continue 12 ou 24Vcc
  • Formation produit et technique de calibration
  • Acquisition de donnée

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