SMT-9700 — déplacement sans contact de 0-100 µm à 0-15 mm avec une résolution inférieure à 1 nm

Le capteur à Courant de Foucault SMT-9700 mesure des positions et déplacements sans contact entre la tête de sonde et toute cible métallique conductrice — acier, aluminium ou cuivre — sur des étendues de 0-100 µm à 0-15 mm, avec une résolution inférieure à 1 nm. Un capteur de position qui atteint le nanomètre change la donne pour l'asservissement haute précision.

Ces performances tiennent à la réponse fréquentielle élevée de 50 kHz et à l'insensibilité au milieu de mesure : humidité, électromagnétisme, cryogénie ou huile de coupe ne faussent pas le signal. L'électronique se configure sur 1, 2 ou 3 voies, se connecte en standard à 13 sondes, et délivre une sortie 0-10 Vcc ou 4-20 mA directement exploitable par un automate ou un système d'acquisition.

Le SMT-9700 s'adresse aux applications industrielles et scientifiques qui exigent une mesure de position sans contact à l'échelle du nanomètre : asservissement, positionnement de précision, métrologie ou R&D. On le retrouve par exemple pour le retour de position de l'axe Z en photolithographie à semi-conducteurs ou le positionnement optique. La calibration en usine est réalisée avec la sonde et la cible de l'application, dans ses conditions de mesure réelles.

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