L'utilisation de jauges piézorésistives silicium type MEMS
(Micro-Electro-Mechanical Systems ou micromachines ) et de la technologie Fusion controlée (Krystal Bond ) à les avantages suivant :
nTrès grande stabilité à long terme
nIsolation électrique
nTempérature d’utilisation élevée (-70 à 200°C)
nPas de joint , pas de soudure
nTechnologie compatible avec différents médias (17-4PH,316L, …)
nFacteur de jauge accru = 140 (par rapport aux jauges métalliques < 5)
nTechniques photolithographiques autorisant la réalisation de brins de jauge microscopiques. |