L'utilisation de jauges piézorésistives silicium type MEMS
(Micro-Electro-Mechanical Systems ou micromachines ) et de la technologie Fusion controlée (Krystal Bond ) à les avantages suivant :
n- Très grande stabilité à long terme
n- Isolation électrique
n- Température d’utilisation élevée (-70 à 200°C)
- Pas de joint , pas de soudure
n- Technologie compatible avec différents médias (17-4PH,316L, …)
n- Facteur de jauge accru = 140 (par rapport aux jauges métalliques < 5)
n- Techniques photolithographiques autorisant la réalisation de brins de jauge microscopiques. |